تشكلت الكواكب الداخلية من تجمع الغبار واصطدام الجسيمات.
نشأت الكواكب الداخلية لنظامنا الشمسي عطارد والزهرة والأرض والمريخ من تجمع غباري واصطدام جسيمات أكبر في السديم الشمسي على مدى ملايين السنين، هذه الاصطدامات تكونت جسيمات أكبر وأكبر بمرور الوقت تطورت هذه الجسيمات الكبيرة في النهاية لتشكل الكواكب الأولية كواحدة من انواع الكواكب.
تتكون هذه الكواكب الداخلية الأولية من مواد ذات درجات حرارة تكثيف عالية، مثل الحديد والسيليكون والمغنيسيوم والكبريت والألمنيوم والكالسيوم والنيكل، وبسبب التصادمات العنيفة مع أجسام ضخمة مثل الكويكبات، تُطلق كمية كبيرة من الحرارة. نتيجة لذلك، جنبًا إلى جنب مع الحرارة المتولدة من التحلل الإشعاعي، تم إنتاج حرارة كافية لذوبان الكواكب الداخلية الصخرية.
ثم غرقت العناصر الثقيلة مثل الحديد والنيكل والرصاص في مركز الكواكب الأولية، بينما ارتفعت العناصر الأخف وزنًا مثل الكالسيوم والجرافيت إلى السطح، وتم حرق العناصر التي كانت غازية بسبب الحرارة المتولدة عند التصادم والاقتراب من الشمس، ومع مرور الوقت، تم تبريد الكواكب الأولية مما ترك نوى حديدية كثيفة في الداخل مع تكوين سطحي صخري.
تأثيرات الإشعاع الشمسي أدت إلى تطاير العناصر الخفيفة مثل الهيدروجين والهيليوم من الكواكب الداخلية الأولية، لذلك تتكون هذه الالكواكب في الأساس من مادة صلبة، وبالتالي تم تسميتها كواكب أرضية